二手 NIKON i11D #293627556 待售

NIKON i11D是一種數字芯片步進器，旨在以最高精度、精度和吞吐量處理半導體晶圓制造。NIKON I 11 D采用了先進的設計,可最大限度地提高性能,同時最大限度地減少晶圓失真和占用空間。其數字掩模成像技術重現復雜、精確的形狀，確保優越的晶圓CD精度和精確的聚焦和可重復性。I11D步進器與高性能不受保護的掃描設備集成在一起,具有較大的覆蓋階段,並且為每個客戶提供了多種特定於工作的配置選項。這款單板系統為用戶提供了高水平的集成，包括電動舞臺、室內電梯、縮放光學、平板顯示器和直觀的觸摸屏控制器。該單元與一系列掩模模式和叠加級兼容，包括用於高精度測量的標線和高色散掃描儀。I 11 D還具有先進的安全功能以減少汙染風險,包括中央屏蔽氣體噴射控制器,以保護光學機器免受外部汙染,實時缺陷檢查功能,均勻屏蔽覆蓋範圍以及集成的環境監控。晶圓犁機構有效地將晶圓密封在下面的基板上，降低了腐蝕的風險。此外,為確保高吞吐量和工藝產量,NIKON i11D提供了一套工藝控制功能,如劑量掃描、模具內定位、階段到階段匹配和批到批匹配。NIKON I 11 D的設計滿足半導體晶圓制造的最高可靠性、精度和速度水平。獲得NIKON專利的體系結構提高了光學性能、準確性和吞吐量,確保晶圓缺陷在高速運行時最小化。步進器能夠加工薄至0.08毫米的晶片，可以處理直徑高達150毫米的晶片，失真最小。為了提高工作效率,I11D配備了高級作業處理自動化和錯誤恢復系統。它還在準確性和吞吐量之間提供合理的權衡,並且可以進行擴展以滿足特定的客戶需求。步進器易於使用的觸摸屏控制器確保了平穩的操作和與其他設備的無縫通信。通過提供準確可靠的晶片步進解決方案，I 11 D是滿足芯片處理需求的理想選擇。其高性能，加上先進的安全特性，有助於達到晶圓制造的最佳效果，產生快速高效的批量生產。