二手 NIKON i11D #293752967 待售

製造商
NIKON
模型
i11D
ID: 293752967
Stepper.
NIKON i11D是一種高度專業化的晶圓步進器,用於集成電路(ICs)的制造過程。它是一種掃描光刻工具,使用激光器和掃描儀在IC制造過程的每一步都能得到極其精確的結果。NIKON I 11 D利用大量的光學元件、傳感器和精密的處理單元來實現高精度晶圓掃描和激光控制。高度先進的投影光學系統可提供快速、準確的掃描精度,最小步長為5 nm,從而能夠以極嚴格的公差繪制細微的形狀。該成像系統具有高度靈敏和可配置的CCD線路檢測器,可在晶圓上實現高精度成像。I11D還采用了多種對準和配準方法,包括非接觸跟蹤激光器,使晶片與步進器快速、準確對準。此外,步進器采用雙級頂置晶片臺和磁板夾具,確保了晶片對準和夾緊時的最高精度。I 11 D還具有高功率激光器,用於晶圓的精確和速度獨立曝光,然後將其與光刻步進器精密的數據采集、處理和輸出系統結合起來。NIKON i11D支持多種分辨率、可重復性和吞吐量級別,並且能夠處理直徑不超過8英寸的晶片。NIKON I 11 D是一個強大而精確的晶圓步進器,是IC製造過程的組成部分。其廣泛的功能使步進器能夠提供高精度的結果,同時提供高效的吞吐量。其嚴謹的設計,加上其精確的成像系統,確保了最高質量的IC能夠快速、經濟高效地生產出來。
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