二手 NIKON i11D #293797472 待售

NIKON i11D是由NIKON Corporation製造的多層、高解析度晶圓步進器。它是為半導體工業中的微芯片的高精度光刻加工而設計的，是最先進的步進器之一。它提供了較高的對準精度、卓越的曝光精度和卓越的叠加特性，使最復雜的結構得以精確生產。NIKON I 11 D的最大分辨率為0.1微米，允許精確的光刻再現和微芯片的最佳制造。它支持設備設計的圖樣設計,其細線/空間特征可低至0.11 µm, 3D結構可低至0.25 µm。其光學設備可實現從紫外線（UV）到深紫外線（DUV）光譜的各種曝光波長。其先進的具有微觀特征的對準相機系統可檢測到小至2 µm的特征，其自動光刻同步單元可確保每個圖案層的最高精度。I11D有一個大舞臺，尺寸350毫米x 350毫米，可以加工直徑達300毫米的大型晶片。它還配備了專門的晶圓處理機，以提高制圖階段的平滑度。這樣可以在單個過程中實現多次曝光,從而節省晶圓處理時間和成本。此外，I11 D有一個專門的清潔工具用於基材的制備，以及一個用於檢查和監測基材圖樣的高度精確的顯微鏡。這種檢查和監測能力確保了每個制造結果的優化。它還包括一個獨特的自動調整資產,用於更改不同層厚度的焦點級別並確保最高質量的陣列。總體而言,NIKON i11D是一種功能強大的下一代晶片步進器,可為高級微芯片制造過程提供可靠的性能。其高分辨率、寬曝光波長範圍、強大的操控和清洗系統，以及精確的檢測能力，使其成為實現精湛光刻效果的絕佳選擇。