二手 NIKON i11D #293805260 待售

NIKON i11D是一種先進的晶圓步進器，專為解決先進半導體器件的步進特性而設計。通過結合光學、機械和電子元件的高級功能，NIKON I 11 D晶片步進器能夠與廣泛的晶片尺寸和工藝應用一起工作。i11D晶片步進器的機械設計采用帶X/Y表的1軸電機驅動器,可精確定位晶片表面以獲得最佳曝光。1軸由微量移動電動機驅動,電阻電動機編碼器與控制器配合使用,可實現高達6nm的X/Y表分辨率。晶圓級是業界的標準，總行程範圍320mm X 100mm。I 11 D晶片步進器提供了廣泛的工藝能力，包括濺射沈積、熱氧化和模式轉移。它設計為使用兩個4軸運動系統，以確保圖案被精確地轉移到基板上。第一個運動軸安裝在X/Y臺上,由微動馬達驅動,而第二個運動軸安裝在腔室單元上並驅動主軸。此組合提供4.0 mm x 40.0 mm的最大工作面積。NIKON i11D晶片步進器上的光學設備設計用於高分辨率成像。該系統利用傾斜光束照明器和CCD攝像機來捕捉圖樣。CCD相機專為高分辨率成像而設計，提供7.5 nm的分辨率。光學單元還可以與各種圖像增強系統集成，如紫外線激光器，進一步提高成像能力。另外，NIKON I 11 D晶片步進器包括一個真空級，一次最多可容納100個晶片。I11D晶片步進器包括一個直觀的用戶界面,機器操作員、工程師和技術人員可以輕松瀏覽該界面。該計算機提供實時圖形用戶界面（GUI）,允許快速、準確的流程設置和操作。此外,該工具還能夠存儲和復制工藝配方。總體而言,I 11 D晶圓步進器是半導體晶圓廠的先進資產,它提供了廣泛的工藝功能。其先進的機械、光學和電子元件提供精確的晶圓處理和成像,而直觀的用戶界面確保了高效的操作。其特點的結合使其成為制造行業非常理想的設備。