二手 NIKON i11D #9094100 待售
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已售出
ID: 9094100
晶圓大小: 5"
Stepper, 5"
Resolution: 0.35 um
N.A.: 0.63
Exposure light source: i-line
Exposure area: 22 x 22 mm to 17.9 x 25.2 mm
Alignment accuracy: 70 mm.
NIKON i11D晶圓步進器是一種高精度、高分辨率的光刻機,滿足了半導體行業的嚴格需求。它主要用於制造具有極小特性的半導體芯片。NIKON I 11 D晶圓步進器由一個最先進的雙軸精密級供電,能夠產生從6微米到幾微米大小的特征。集成的無失真光學器件允許最大圖像質量和最小像差。這使制造商能夠以極高的分辨率制造出最先進的芯片。晶圓步進器設計用於高端光刻應用,包括生產精密半導體和MEMS器件。它有3個半自動曝光場,4個單獨曝光,20個子曝光。這使得復雜結構的制造具有無與倫比的精確度和靈活性。I11D晶圓步進器的設計也具有很高的自動化程度。使用自動CPU控制器,通過使用8 cm的視場方便晶圓對準。步進器能夠在處理後自動測量芯片之間的間隙。I 11 D還配備了一個精密的軟件包,能夠以高精度和控制的方式精確模擬曝光過程。該軟件旨在自動優化每個晶片的對齊參數,以確保最佳性能。該機還配備了多種自動化過程控制功能,包括自動化劑量測量系統。這有助於確保每個芯片使用適當的曝光量。NIKON i11D易於操作和維護。自動化維護計劃有助於提供高水平的一般護理和穩定性,而頻繁的升級和徹底的操作員培訓則確保機器處於技術的最前沿。強大的技術支持團隊提供故障排除幫助和處理建議。總體而言,NIKON I 11 D晶圓步進器是高端光刻應用的理想選擇。它具有很高的準確性、自動化性和特征性,並保證能夠產生出色和可靠的結果。
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