二手 NIKON i11D #9159474 待售

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NIKON i11D
已售出
製造商
NIKON
模型
i11D
ID: 9159474
Steppers.
NIKON i11D是一種全場晶圓步進器,用於半導體制造的光刻工藝。它被設計為經濟高效的解決方案,能夠在各種掩模尺寸和技術上提供高吞吐量和穩定的對齊精度。NIKON I 11 D具有精密的直線電動機驅動級,以實現更精確的對準和級移動。它還擁有12.25英寸x 12.25英寸的底座、11英寸x 11英寸的大卡盤尺寸和1.00英寸的孔徑尺寸,以提高安裝效率。I11D是為了滿足最高的性能和靈活性標準而構建的。它配備了世界級的DMD傳感器和閉環伺服設備,以保證映射精度。其超低失真光學和主動隔振系統即使在最高晶圓吞吐量下也能提供對齊的圖像。I 11 D還支持高達0.05-0.2 μ m的叠加可重復性。NIKON i11D具有先進的操作和維護功能。它有一個大的內置液晶面板和循環播放,這使得它容易抽查晶片和檢查他們可重復的結果。該設備還具有硬件輔助的高分辨率掃描預覽功能,可用於檢查缺陷。此外,自動對焦(AF)功能進一步提高了圖像質量。NIKON I 11 D還擁有先進的數據管理機器,使客戶能夠在生產過程中分析圖像數據和調整參數。該工具還支持JPC專有的基於模型的策略開發,以進一步提高我們的總體收益性能。此外,i11D還包括一系列智能對齊功能,包括模式識別和縮放、多色模式分析、模擬矩陣數據訪問以及可自動調節的曝光參數。所有這些功能不僅減少了設置時間和故障排除,而且還有助於確保一致、可重復的結果。此外,資產的內置對齊日誌允許操作員隨著時間的推移跟蹤模式和打印,從而獲得可靠的性能。最後,I 11 D配備了先進的安全功能和內置冗余。該型號配備了雙級運動保護裝置以及防震設備。它還使用自動光束百葉窗,以確保眼睛安全和安全的識別機制,以防止未經授權進入。總之,NIKON i11D是一種全場晶圓步進器,為光刻需要提供卓越的性能和靈活性。它具有高級功能和自動化安全功能,可實現更高的吞吐量、更精確的對齊和更好的可重復性。該系統還具有先進的操作和維護功能,便於抽查晶片、管理數據和調整參數,以實現可靠的性能。
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