二手 NIKON i11D #9260431 待售

NIKON i11D
製造商
NIKON
模型
i11D
ID: 9260431
Steppers.
NIKON i11D是一種先進的晶片步進器,可提供快速、高度精確的晶片檢查和處理。該步進器專為半導體和光掩模制造業的應用而設計。它具有高精度、分辨率和可重復性。NIKON I 11 D具有先進的晶圓檢測和處理能力。步進器的場大小為12英寸(30.5厘米)對角線,使步進器可以處理更大的晶圓。最大車廂行程為900毫米(35.4英寸)。它具有0.15 µm的最小步長高精度,以及12位色深的高解析度相機。該機還具有可靠的自動裝載機機制,用於快速裝卸基板。本機利用柱內快門保護鏡片和基板免受碎屑的傷害。快門還減小了所選曝光範圍的面積,導致步進處理速度加快。I11D有一個創新的全面罩檢查系統,允許每個面罩檢查多個圖樣。這樣就可以在一個周期內精確地檢查各種模式。I 11 D還具有先進的成像和分析功能。它有一臺基於Windows的個人計算機,允許程序定制,以及直觀的用戶操作。還有一系列軟件選項,如3D和高階模式分析、銳角掩碼識別、缺陷識別和評估、多重曝光和成像以及掩碼設計驗證。NIKON i11D也是環保高效的。它具有較低的臭氧消耗潛力和不含氟氯化碳的結構,以及較低的功耗。這有助於降低運營成本。最後,NIKON I 11 D還利用了一系列安全特性,例如內置的安全聯鎖和緊急停止系統。總體而言,i11D提供快速、高度精確的晶圓檢查和處理.它提供了先進的成像和分析能力以及環境效率。
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