二手 NIKON i12 #293603629 待售

NIKON i12是半導體工業中用於光刻和精密制圖的高精度晶圓步進器。它能夠產生亞微米的特征大小和平坦的，精細的圖案曲面。NIKON I 12兼有軟硬光掩模，因此適合多種應用。I12具有強大的光學設備,用於將圖樣投影到工件板上。該系統包括一個對準單元、一個將原始口罩固定在適當位置的口罩更換器和一組高分辨率鏡頭。鏡片被設計成將光聚焦到面膜視網膜的一個細小的斑點。它們還提供軸上對齊，因此該點與標線格精確對齊。I 12還擁有一系列功能,旨在最大限度地提高其準確性和速度。例如,CircleField校正機（CFCS）補償晶圓步進器旋轉級中的擺動。還有一個專門的網格生成器，稱為MetraGrid，它使用戶能夠以非凡的精度生成模式。NIKON i 12還包括一個Advanced Machine Control （AMC）工具，它提供直觀、自動化的控制資產。這個模型能夠達到最大的對準精度，加上一系列額外的功能；例如,它可以自動檢測和校正標記模式中的任何錯誤,以及計算最佳曝光時間。NIKON I 12還提供高達0.15微米的光掩模對準精度。這允許高度可重現的模式和嚴格的尺寸控制。此外,步進器還具有多軸電機控制功能,使其能夠導航晶圓,從而在需要多個曝光步驟時實現精確對準和定位。這一特性也使得i12適合多次曝光和多級光刻。最後，I 12設計提供長期可靠性，並配備了一系列故障檢測和預防性維護功能。它還附帶了NIKON著名的在線支持服務和一套全面的軟件應用程序。