二手 NIKON i12 #293793326 待售

NIKON i 12是一種基於曝光的晶圓步進器，旨在在一系列基板上提供精確、高性能的光刻成像。它非常適合IC封裝、MEMS、高級封裝、生物傳感器和光子應用等廣泛的應用。NIKON I 12的設計具有卓越的精度和動態範圍,並配備了步進剪切對準設備,可重復曝光和掃描精度。它具有8英寸對準模塊和5軸機械手控制、2.5微米的光斑大小、6倍的可編程掃描面積,以及改進的伺服掃描儀,可提供高速掃描。此外,i12還提供高分辨率圖像合成和CINAS（計算機集成納米分析系統）兼容性。I 12為用戶提供了靈活性和高分辨率成像以及先進的晶圓精度和可重復性。該系統的構建是為了在與N-Vision Long Pr處理單元結合時提供高效的操作。該機器具有測量模式、平面內和旋轉對齊方式、集成的叠加分析功能、ActiveEdge Technology和多點曝光功能。其ActiveEdge Technology可確保最小成像效果,並允許快速、準確地控制鏡頭尺寸和邊緣精度。此外,NIKON i 12還采用NIKON Advanced Illumination Management Tool（尼康高級照明管理工具）提供增強的靈活性和吞吐量。它提供了一系列光源（g-or i-line源、KrF或ArF源），以優化曝光條件。用戶友好型資產通過直觀的圖形用戶界面提供直觀的操作員體驗，允許簡單的設置和操作。此外,它還使用ABF-Lite模型在多個站點之間提供直接對齊功能。它使指定區域內的多個晶片能夠快速高效地處理。該設備的預測叠加分析提供了磁帶和烘烤前叠加結果的反饋,減少了磁帶和烘烤的數量,並實現了快速高效的過程跟蹤。總之，NIKON I 12是一種先進的晶片步進器，能夠提供快速、精確的光刻成像，提高精度、重復性和靈活性。其先進的功能和工具,如ActiveEdge Technology和Predictive Overlay Analysis,使其成為IC封裝、MEMS和光子學等應用的強大工具。