二手 NIKON i12 #293825801 待售
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NIKON i12晶片步進器是利用先進的激光投影技術和先進的圖像處理,將半導體層定位和對齊到單個晶片上的自動化裝置。這一過程對於制造半導體模具等小型電子元件至關重要。NIKON I 12晶片步進器為精確對齊晶片層提供了極高的精度,允許更快的生產時間和更高的產量。I12晶片步進器配備了大的光刻場,高分辨率成像和強大的照明設備。步進器能夠在分辨率高達0.10微米(100 nm)的晶片上寫入圖樣,並且具有很高的圖樣性。利用由紫外線激光器和控制光學器件組成的先進模式投影系統在晶圓上投影精細的詳細模式。通過結合先進的圖像處理算法和先進的CCD單元,進一步實現了精確的步進對齊。ECU控制器允許對晶片級進行精確的運動控制,而X-Y坐標測量傳感器則提供高精度的位置讀出。除了先進的對準能力外,I 12還具有令人印象深刻的抗塗層能力。它能夠在每批晶片上持續塗覆相同的厚度和抗蝕量。作為晶片步進器設計的一部分,緊湊型耐熱塗層(CRC)容器可實現高精度塗層控制。此外,晶片步進器的先進清潔能力和強大的預烤處理能力可提高吞吐量,並最大限度地減少設置和拆卸時間。NIKON i 12最多可處理8英寸晶圓,有較大直徑的選項。它非常適合深層UV和DUV應用,也非常適合用於邏輯、內存和圖像傳感器市場的先進前沿設備流程。總體而言,NIKON I 12晶圓步進器是半導體行業的寶貴工具。其高精度的對準能力和強大的抗塗層機提供了一致、可靠和高效的晶圓生產。此外,其先進的清潔工具和烘烤前處理功能可確保更大的吞吐量,並縮短安裝和拆卸時間。I12是適用於各種設備制造過程的完美自動化解決方案。
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