二手 NIKON i12 #9168034 待售

NIKON i12是一款具有先進能力和性能的高端、高容量晶圓步進器。可用於製造商IC等元件，如半導體、光電、MEMS。NIKON I 12具有全掩模對準設備，允許高精度曝光小特性，如通氣孔、觸點和線條。此外,該系統還具有降低2.5-5X的現場能力,可實現高生產吞吐量。I12是266mm步進器,圖像尺寸可達200 mm x 200 mm,降低速率為0.3到5X。曝光類型是用於LED層壓的LED場陣列,可提高分辨率,而無需對標線進行初始對齊。該單位還有能力利用幾項正在申請專利的技術減少失真、塗抹和聚焦錯誤。I 12搭載DSA技術，代表「Deep Screen Array」。這允許以最小特征大小曝光,這是制造商的承諾。它還提供了更好的晶片質量和提高產量。NIKON i 12晶片步進器利用雙IC曝光機提供高性能和精確度，最大限度地減少了熱漂移的影響。該工具還具有電子縫合功能，可以可靠地登記多個標線。此外,還可以通過高精度的標記符號分析對整個晶片進行配準.NIKON I 12晶片步進器也以其先進的曝光過程而擁有優越的曝光度。減小矢量光束（RVB）技術可將曝光時間降至最低,並減少曝光誤差。低質量、高速級和無振動結構也使曝光時間最小化,從而實現了更廣泛曝光範圍的工藝優化。I12還通過其先進的成像分析增強了成像能力。這包括局部暗曝光控制和暗曝光,以及臨界尺寸叠加控制.圖像軟件還可以預測潛在的缺陷，可用於識別過程漂移並提供卓越的圖像質量。I 12晶圓步進器提供了尖端、高精度的功能,使制造商能夠在嚴格的期限內交付產品。該資產提供自動化,以實現最終的效率和可重復的結果,以及生產的耐用性和可靠性。它還易於使用且節能,可提供經濟高效的操作。