二手 NIKON i12 #9285477 待售

NIKON i 12是為尖端半導體光刻作業而設計的先進晶圓步進器。它使用獲得專利的Calibrated Automation組件以最少的材料浪費實現高吞吐量,同時保持對所有過程變量（包括位置、曝光時間和焦點）的極其精確的控制。晶圓步進器可用於各種設備制造和工藝應用，均能快速準確地執行。NIKON I 12有一個專有的底架，支持非常平滑且低振動的運動。三軸直線電動機驅動級提供X、Y、Z運動，分辨率為0.01微米，可根據工藝要求以納米精度獨立調節。此外，底架采用嵌入式隔振技術，有助於確保整個光刻過程中的高精度。I12利用先進的光學和強大的光源相結合，實現高分辨率的圖樣，並具有出色的對比度。可調鏡將投影場定位在整個晶片上，而新穎的圖像濾鏡設備將光學失真的影響降至最低。步進器還配備了多種設備，以補償多種曝光要求，包括背面圖像掩模、散焦控制、焦點移位對準和降低背板反射率。I 12暴露的系統具有多種功能,可確保最佳的生產效率水平。它配備了晶片級晶片裝載機，可以讓多達8個晶片同時快速輕松裝入。該裝置還配備了先進的計算機化數控機器（CNC），具有運動控制功能，可監控刀具性能以及區域和分區調整，以自動補償資產中的任何潛在缺陷。此外，一個最先進的視覺模型檢查每個晶片的缺陷之前和之後的模式。總體而言，NIKON i 12是一種先進的晶圓步進器，旨在提供具有高度可靠的圖樣性能的半導體光刻操作。集成的校準自動化技術保證了出色的分辨率、準確性和控制能力,而且多種功能確保了設備組件的自動化、高速生產。