二手 NIKON i12 #9364674 待售

NIKON i 12是一種高精度、高度自動化的晶圓步進器，專為需要高吞吐量和精確度的先進光刻應用而設計。它配備了自適應階段、多層次聚焦深度、G型密封掃描儀等先進技術。晶圓步進器設計用於廣泛的光刻工藝，包括極紫外線（EUV）、浸入式光刻和激光感應熱成像（LITI）。步進器的最大掃描場大小可達12 「x 6」、多級聚焦深度和高分辨率成像設備,以確保精確曝光和陣列放置網狀結構（PPR）。晶片步進器配備了一個自適應級，在曝光前精確對準和定位晶片。它還裝有一個G密封光學掃描儀和一個用於精確模式放置和檢查的曝光監測系統。它還能夠自動將運動軸和焦點軸對準晶圓及其圖樣位置。NIKON I 12晶片步進器還提供了復雜模式放置的高級控制選項。一個額外的保護和控制單元阻止任何塵埃粒子或其他外星粒子進入成像機器。這有助於維護成像工具的完整性,以提高準確性和分辨率。I12晶片步進器還具有一些有趣的功能,例如鏡頭識別功能、直觀的圖形用戶界面（GUI）和I 12 Viewer軟件,可快速輕松地預覽曝光數據。利用這些功能,用戶可以在曝光前可視化復雜的圖案形狀和密度。NIKON i 12為大批量生產和關鍵應用提供高吞吐量和準確性。它還配備了慣性和環境補償以及光學補償能力，以糾正環境或位置的變化。它的模塊化配置提供了與行業標準面罩和鏡頭封裝的兼容性，並為用戶在使用各種光刻應用程序時提供了靈活性。除了所有這些功能外，NIKON I 12還具有諸如自動索引和批處理等復雜的自動化功能。它由NIKON先進的光刻工具如iNspect、iLitho和iExposure支持，這些工具旨在滿足並超過光刻應用的苛刻要求。憑借其先進的特點和技術，i12是先進光刻技術的完美工具。