二手 NIKON i12D #293673209 待售

NIKON i12D是日本光學成像公司NIKON製造的晶圓步進器。它是一種先進的設備，用於制造集成電路芯片，現代電子的心臟。這種晶片步進器的設計能夠提供高精度和高通量以及卓越的工藝重復性。它體積小、性能高，非常適合用於研發和商業生產作業。I12D具有200 mm晶片場,精度為0.1微米,可實現全晶片步進精度。晶片步進器具有主動的DLP對準能力，使得晶片卡盤的定位和有源光學圖樣失真校正能夠極其精確，以確保芯片邊緣完美無瑕。NIKON i12D還有一個集成的光學測量系統，非常適合MEMS、TEG和微加工等應用領域。該系統使用各種對齊方式,並與復雜的軟件進行交互,以測量過程的任何覆蓋和準確性。然後記錄測量結果,並將其用於優化步進參數。這將提高成品的質量。I12D還有一個集成的特殊光學器件，用於檢測具有最先進的光學器件的端面sofmask nanopattern。這使得它適合要求苛刻的單一光刻工藝步驟。該光學器件還具有17秒的曝光時間,可確保在重復納米級特征時的高吞吐量。在安全性方面，NIKON i12D在20 mT的低壓下運行，使其適合在潔凈室環境中使用。它還具有實時發射監視器和無接觸式光掩模更換器。I12D符合環境和健康安全的最高標準。總之,NIKON i12D是晶圓制造的最佳步進器.它以低壓提供高質量和精確度，集成了主動DLP對準、集成光學測量和特殊光學。它旨在提高工藝的可重復性和產量，並確保高質量和準確性。是研發和商業生產經營的理想選擇。