二手 NIKON i12D #293748648 待售

NIKON i12D是一種用於半導體光刻的高性能晶圓步進器。它旨在優化光學性能，在光刻曝光時提供均勻的斜率保真度。I12D結合了一個靜止級和一個電動級以及一個12向柱式對準設備，以提供晶圓定位的最高精度。獨特的兩級校正系統補償激光位置的輕微空間位移，以確保精確對準。NIKON i12D具有0.93的高數值孔徑、小於5 nm的小螺旋焦差和大於10 μ m的焦深。這確保了脈沖和連續波形光刻選項的高精度。I12D還配備了一個特殊的成像和對焦單元，其中對焦鏡頭通過傾斜調節機構傾斜以提供扭曲的圖像。這使得微米分辨率可以在多個方向上成像，同時補償由於晶圓的輻照區域的角偏移而產生的任何焦點變化。NIKON i12D還有一個緊湊的多合一脈沖輻照機，可以精確控制所有輻照參數。該工具非常適合短脈沖光刻和高分辨率低功耗光刻。i12D的主體由輕巧但堅固的超高強度鋁合金構成，以實現最大的散熱和剛度。車身還具有三層結構結構，每個部件在操作過程中都與振動隔離。總體而言,NIKON i12D是理想的晶圓步進器,適用於半導體電路陣列、印章光刻、圖樣傳輸和其他需要高分辨率成像和對準精度的過程。此資產以最小的噪音和振動水平提供卓越的性能,確保精確的圖像放置和質量。