二手 NIKON i12D #293797473 待售

NIKON i12D是i-line系列中的晶圓步進器。它是一種高度精確的成像設備,非常適合生產半導體和其他需要小巧細膩特性的產品。I12D是用於圖像優化的多級對齊4軸級和NA 0.33。步進器使用單一掃描、高精度、重叠的鏡頭陣列將曝光場縫合在一起，以獲得最佳質量的生產圖像。鏡頭陣列設計為極化誤差低,可放大到0.7 μ m。晶圓級是掃描儀，目前NIKON i12D提供了當今i-line系列中最高的放大分辨率。步進器使用獨特的算法，以子像素精度測量每個曝光網格點的位置信息，為用戶提供更好的測量值。這允許將陣列與標準網格更緊密地對齊,以進行自動缺陷分析。步進器還有一個快速加載和定位系統，可裝載直徑達900毫米、運動精度為50 μ m的樣品。i12D的另一個特點是其改進的自動曝光單元,可在10毫秒內集成信噪聲（SSN）,在高晶圓尺寸下提供更穩定的吞吐量,並可減少偏心曝光。即使是最具挑戰性的電路設計,此功能也可以改進無缺陷圖像的生產。NIKON i12D可用於多種應用，包括光掩模生產、LSI生產、平板顯示器（FPD）生產、CMP（化學機械拋光）生產和MEMS生產。晶圓步進器在生產環境中也被證明是極其可靠和具有成本效益的。I12D是一臺出色的精密成像機,可為用戶提供嚴格的公差、高成像質量和更快的吞吐量。對於需要能夠可靠地生產高質量微電路和產品的晶圓步進器的用戶來說，這是一個很好的選擇。