二手 NIKON i12D #293808647 待售

NIKON i12D是一種晶圓步進器，專為幫助在半導體芯片上進行各種制造過程而設計。它由鏡頭設備、舞臺、照明系統、掃描儀控制和更高級別的單元組成。其鏡頭機具有全自動光學器件，可容納各種標線尺寸。鏡頭工具支持廣泛的分辨率，從亞微米到微米級的精度。它還支持使用高分辨率的光掩模和標線面膜。對透鏡資產進行了優化，使光學器件具有精確的對準公差和高精度對準。舞臺模型配備了高精度的自動對準，以確保晶圓的精確定位。它由一個對稱的X-Y載波、一個可選的N軸和一個可以方便操作的機動對準設備模塊組成。這使得晶片能夠高精度對準各種制造過程。照明系統是精確采樣照明的精確照明源.它支持各種照明模式，可以為各種應用提供各種光源。它還具有自動光源選擇功能,以提供最佳的光掩模質量。掃描儀控制由自動對焦單元、自動定位機和反饋回路控制工具組成。這有助於保持對掃描過程的精確控制。更高級別的資產提供了必要的控制模型來監控和管理整個設備的性能。它由直觀的用戶界面、報告系統和數據記錄單元組成。總體而言，i12D晶片步進器的設計旨在幫助制造高精度半導體芯片，使用精確的對準、照明和掃描工藝。其自動對焦、自動定位和反饋環路控制系統可提供精確的結果,同時提供直觀的用戶界面。數據記錄和報告系統提供了全面的性能指標。