二手 NIKON i12D #293823353 待售
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NIKON i12D是由NIKON Corp.制造的晶圓步進器I12D是用於生產集成電路、LCD和其他MEMS產品等半導體器件的高端設備。它旨在提供卓越的性能和精度,同時保持可靠和高效的操作。NIKON i12D是一種混合步驟和重復模式步進器,能夠在單個晶片上進行長曝光縫合模式。它具有先進的設備設計,具有低溫運行平臺和較小的客戶占用空間,可提供更高的生產率。晶圓尺寸對於大型面板的直徑為150 mm,對於更大的生產則為200 mm。步進器由NIKON品牌的柱式掃描儀供電,縮放倍率為6倍。該系統支持電子束光刻技術和DFE對象測量技術,用於精確的圖樣繪制。晶片步進器有一個內置的3級叠加對準單元,以確保圖樣在晶片上的準確放置。它還包括一個實時的「快照」來驗證晶圓的質量。機器還提供自動拐角識別,以消除手動幹預而步進.掃描角度可以在0°、90°和180°之間變化,允許用戶創建所需的陣列。I12D非常可靠,效率超過99%。它以極低的錯誤率提供卓越的吞吐量。該工具也適合在高溫過程中使用,並通過集成的Smart QA軟件提供靈活的數據管理。通過自動控制晶圓位置、高速檢查和集成其他NIKON/第三方外圍設備等功能進一步增強了資產。總體而言,NIKON i12D是一種先進的晶圓步進器,適合大批量生產。它旨在以可靠和高效的方式提供卓越的性能和精度。它提供了一系列有用的功能和高度可靠的模型,使其適合各種應用。
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