二手 NIKON i12D #293823356 待售

NIKON i12D是一種用於光刻和微加工工藝的步進器。它是一種利用標準光圈或高光圈光學器件的光刻機。I12D由多個組件組成,包括機載光學平臺、粗細運動階段、標線設備和曝光/過程控制。NIKON i12D的光學平臺由NIKON三相機設計組成，利用中央主曝光棱鏡和兩個橫向相機捕捉半導體晶圓的完整視野。這使得光學器件的定位更加精確,以獲得最佳的光刻曝光和可重復的性能。該光學平臺提供0.75和0.5NA光學系統,用於透明和反射掩模,以及高達0.1NA的數值孔徑,用於高電導率光刻應用。光學元件直徑為6.35mm,提供不間斷的光學視線,適用於200 mm ²的制造尺寸。納米精確級i12D配備了高精度的NIP氟塗層線性導軌，以及納米運動控制（NMC）系統，該系統采用自動定位，最多允許+-200 μ m的跳躍運動。粗運動階段的最大運動範圍為50mm，而細運動階段的最大運動範圍為16mm。兩級均通過精密導引單元控制。NIKON i12D的標線機使用標線交換工具（Reticle Exchange Tool，RES）從stocker轉移圖樣面罩。此資產利用自動對齊來最小化設置時間,並減少曝光的周期時間。最後,i12D的曝光/工藝控制提供了可調的曝光參數,包括曝光時間和激光功率強度,以及工藝設置,如工藝溫度、加熱/冷卻速率和工藝時間。NIKON i12D也可以編程為一鍵式操作。總之，i12D是專門為光刻和微加工工藝設計的先進步進器。它具有三攝像頭光學平臺、納米精確級、Reticle Exchange模型以及可調曝光和工藝設置。該晶片步進器適用於200 mm ²以下的半導體晶片尺寸,提供最佳的光刻曝光、高效的處理和精確的引導。