二手 NIKON i12D #9068880 待售
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NIKON i12D是一種高端晶片步進器,旨在精確測量和成像半導體晶片等基板上的關鍵器件特征。I12D具有先進的混合槍光學設備,既使用高分辨率的I線投影鏡頭,又使用低能量的短波長投影鏡頭。這種混合炮系統使NIKON i12D能夠準確快速地在晶片上成像深亞微米特征。I12D還具有高精度的雙級定位單元,采用空氣軸承和電動機驅動的X/Y級。這臺定位機是自動化的,能夠實現精確間隔的運動,X/Y的精度為10nm,Z.NIKON的精度為1微米。NIKON i12D還有一個強大的照明工具,由具有雙曝光的LED閃光燈組成,幾乎可以容納從低空間頻率圖像到高納米分辨率的任何應用。I12D具有廣泛的操作模式,包括亮場模式、暗場模式、側視模式、遠心模式和環形亮場模式。這些模式的結合使得準確快速地對關鍵設備特性進行成像成為可能。NIKON i12D還擁有一個功能強大的數據存儲資產,稱為數字成像模型(DIS),其大容量硬盤能夠存儲高達256 GB的數據。這樣就可以存儲多個曝光運行中的圖像,並方便地在大型液晶屏幕上查看它們。除了成像能力外,i12D還有許多內置的對準和控制系統,可實現精確和精確的晶圓對準和成像。例如,NIKON i12D擁有高度準確可靠的綜合性晶圓未對準檢測(WMD)設備。I12D幾乎可以處理任何系統和基板,其設計符合業界最高的性能標準。它是滿足高分辨率成像要求的理想解決方案,例如高級半導體器件制造過程中的成像要求。
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