二手 NIKON i204 #9229245 待售
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ID: 9229245
Steppers, parts systems
Main body
Camera lens
Transfer robot
PCB Controller board.
NIKON i204是一種晶圓步進器,旨在在易於使用的封裝中實現最大吞吐量。它具有先進的對齊技術,具有8秒對齊時間、高對比度檢測設備和自動基板選擇系統(ASSS)。I204配備了一個高度可配置的4級映射單元,它提供了在基板上覆蓋的均勻性,並允許更高水平的模式放置精度。它具有18m/s2的最大加速度,使得它能夠在處理大小基板時允許高吞吐量。機器的晶圓容量能夠處理150毫米和200毫米晶圓。它的舞臺被安裝在一個大框架上,以獲得最大的穩定性,這使刀具具有優越的溫度性能並提高其處理速度。NIKON i204具有較高的吞吐量格式,可降低成本,同時還可實現非常精確的性能。資產利用其專有的高級掃描技術來準確檢測模式和微小缺陷。最大場尺寸為28mm,每種型號都能分辨率降至0.4µm。設備使用其專有的NIKON Application System (NAS)軟件來控制整個光學單元。該機器最多可以存儲八個不同的作業,並且可以在將來升級時進行更新。它允許手動調整對齊、放大和層厚度。I204能夠通過每次曝光後自動清潔標線來節省時間。它有一個可以補償射擊過程中溫度變化的工具,還有一個氣體凈化工具來減少汙染。NIKON i204是一種最先進的步進資產,它在高產模型中提供了非常精確的性能。它具有出色的對齊能力、卓越的模式識別能力,並且可以處理200 mm以下的基板。它具有高度的可配置性,提供了多種增強性能的選項,並且具有內置的清潔工具,可減少維護的停機時間。
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