二手 NIKON I6 #293775851 待售

NIKON I6
製造商
NIKON
模型
I6
ID: 293775851
Stepper.
NIKON I6是最先進的晶圓步進器,提供卓越的光學性能、吞吐量和成本效益。這種先進的晶圓步進器非常適合各種微光刻應用。I6利用其先進的投影對準,以確保整個晶圓表面的均勻性。晶片步進器具有先進的投影曝光設備和先進的優化光學元件,可實現最佳的曝光透射。這樣可以確保高光刻性能和低擁有成本。這種晶圓步進器的投影儀特徵採用新設計的大直徑雙高斯鏡,確保高NA(數值孔徑)和均勻的照明強度輪廓。改進後的長工作距離投影光學元件還可以方便地集成到空間最有限的晶片中。步進器還配備了步進器ON/OFF功能,使用戶能夠在各種腔室中使用步進器。步進器ON/OFF功能允許更快的啟動時間,而不會影響曝光的一致性和準確性。NIKON I6具有全自動晶圓傳輸系統,可提高吞吐量和精度。晶圓采摘單元確保晶圓從盒子安全地轉移到步進器。而且,雙面晶片處理機快速處理晶片的兩側,以更快的曝光。I6配備了先進的晶圓對準工具,精度更高。先進的對準資產使晶片能夠與曝光工具精確對準,從而確保更高的準確性和提高的產量。晶圓步進器還具有先進的層校正控制功能,可確保曝光精度高、精度高。先進的室內溫度控制也有助於減少熱變化。NIKON I6是確保最大性能和產品產量的完美工具。憑借其先進的特性和優異的光學性能,I6可以顯著降低成本,同時提高微光刻工藝的整體保真度。
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