二手 NIKON I6 #9144950 待售

NIKON I6是為光刻工藝設計的最先進的晶圓步進器。該裝置具有先進的設備架構、高精度的操作以及廣泛的功能，特別是具有光學功能。I6具有XY沖程25mm的精密級。這可以實現高精度處理,這對於光刻技術的成功至關重要。另外，NIKON I6具有高精度閉環系統，具有自動聚焦功能和晶圓上不同點間高度差的補償機制。I6還具有一個3維表面感測單元，使基板能夠精確對準晶圓的表面。這有助於確保光刻工藝的準確性和一致性。此外，NIKON I6采用離軸投影光學單元，可實現高精度成像。這臺機器還包括一個自動藝術品匹配機制，使藝術品能夠精確地對準照片掩模。這有助於確保曝光的準確性。此外，該工具還包括對對齊方式的原位自動校正，以解釋暴露過程中的任何漂移。I6的光學器件是為支持廣泛的分辨率而構建的。該裝置可處理30納米特性以及200微米圖案，精度高，精度高。另外，NIKON I6的板對板重復性± 0.1nm。此外，I6還配備了全方位的傳感器和控制器，用於精確的測量和控制。這包括可以精確測量掩模和晶圓對準精度的計量資產。傳感器模型還可以測量相鄰圖樣之間的重叠區域，以及分析曝光後的圖樣。NIKON I6是一種功能強大且用途廣泛的晶圓步進器，旨在為光刻應用提供準確精確的結果。憑借先進的設備架構、高精度的操作、廣泛的功能，I6是現代半導體光刻工藝中的理想設備。