二手 NIKON i7 #9068879 待售
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NIKON i7是一種晶圓步進器,專為先進的180 nm節點及以下光刻應用而設計。這款超高分辨率陣列生成設備在66秒的全周期時間內實現1.2線/空間陣列和200 nm直徑的接觸孔。獨特的1.2X還原光學和先進的照明系統結合了長、穩定的運行壽命和高穩定性。這種特性的結合使NIKON I 7成為高容量、經濟高效的光刻生產的理想解決方案。I7是一個6軸單元,可以有效地掩蔽對齊和執行。其堅固的機械設計確保了長期運行,並保持了高精度和圖像重復性。它的超高速自動對齊機利用了大量的對齊標記,最大限度地減少了實現精確對齊所需的時間。其通用的自動中止工具允許在光刻加工過程中頻繁檢查,確保只使用最佳曝光進行生產。掃描和步進模式以及重復模式的結合使I 7成為生產從芯片到晶圓的各種光學器件尺寸的理想選擇。它能耗低,占地面積減少,減少了地板空間管理,提高了空調效率。它與現有的標線和光刻處理系統兼容,允許整合光刻資產,而無需大量內存和代碼重新校準。NIKON i7還提供出色的環保功能。其內置臭氧處理裝置可過濾出暴露過程中釋放的超低濃度臭氧和其他氣體,確保安全的工作環境。它的花瓣快門設計允許防止從標線到晶圓的光泄漏,保持敏感的曝光。該車型還設有防振設備以減少噪音和振動,以及自動安全聯鎖門以保護操作員。總體而言,NIKON I 7是一種非常可靠、經濟高效的晶圓步進器,專為高級光刻加工而設計。其功能的多種多樣的組合使得它成為大容量生產光學器件的理想選擇,並允許高效的操作和長期的可靠性。
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