二手 NIKON i7 #9185650 待售

NIKON i7是一種最先進的光學晶片步進器。它能夠在廣泛的曝光範圍內進行光刻，包括後端線（BEOL）工藝應用。NIKON I 7配備了新的NIKON MAPS III（Multi-Projection Alignment Equipment III）方格對齊器，提供高精度的配準，此外還有NIKON創新的B-設施導向、標準輸出的G-MAP二進制數據格式。I7具有4板高靈敏度狹縫場圖像傳感器,可同時對齊1個像素。另外，I 7採用新的active-AOM（輔助物鏡模組）搭配4元透鏡系統，以減少昏迷像差。此模塊顯著提高了現場均勻性和清晰度。此外，NIKON高性能舞臺單元通過減少舞臺移動時間來提高機器吞吐量。所有這些都是在沒有sacfrirfig感知的情況下完成的。NIKON i7先進的Diamond-Torque級能夠實現亞納米定位精度和高達100 μ m/sec2的加速度。高精度階段允許在整個曝光窗口中保持穩定和一致的成像性能。NIKON I 7還具有一種新的高精度電子倍增CCD （EM-CCD）,用於亞納米顯示精度和1 nm間距模式識別。這種EM-CCD對於微通孔和直通接觸對準等應用非常可靠，甚至可用於窄模式的應用。此外,NIKON SPTS （Shutter Process Tool Software）是一種智能模式匹配功能,它將CAD數據與測量的橫截面數據進行精確比較,以進行可靠的過程監控。這樣可以完全控制流程的統一性、可追蹤性,並能夠實時優化流程。NIKON設計師特別關註i7的人體工程學。I 7設計方便用戶,易於操作、工具訪問和維護。最後，該工具采用耐用的不銹鋼結構，采用高密度屏蔽，用於振動和噪聲阻尼。NIKON i7是用於研發和生產過程應用的先進、精確、可靠的工具。