二手 NIKON i7 #9205849 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
NIKON i7是一種晶圓步進器，用於半導體製造過程。它被用於以極高的精度和尺寸變化在晶圓表面上繪制特征圖樣，使其成為批量生產復雜電子元件的必要機器。NIKON I 7具有一系列精密的光學元件，例如透鏡、棱鏡和鏡面，以及高度精密的軟件，旨在精確檢測晶圓特征，並以最小的變化精確再現它們。這確保了生產過程的可重復性和可靠性。該機器采用高效的光刻技術，包括全場曝光模塊、步進單元、兩個平坦傳感器、一個平板烘幹機和一個曝光後單元。烘幹機用於在暴露於光能後幹燥晶片表面，而曝光後的單元則執行對晶片表面進行陣列化的關鍵步驟。I7可以容納直徑不超過200毫米的晶片。其先進的成像設備提供卓越的吞吐率和精確的線寬控制，使工藝工程師能夠提供優越的設備產量。該機還配備了獨特的缺陷密度監測系統（DDM），以優化其過程，消除潛在的缺陷形成區域。該單元自動檢測、記錄和分析單元中的缺陷，使工程師能夠識別出缺陷濃度異常高的特定區域，並采取必要步驟消除它們。此外,I 7符合OPC（光學接近校正）標準,該標準允許工程師在生產過程中始終達到最佳平版印刷性能。通過將這一功能與DDM機相結合，工藝工程師可以確保高產量的質量組件具有一致的產量。最後,NIKON i7采用了自動校準工具,以提高生產精度並將誤差降至最低。這使機器能夠在最優點執行操作,從而在很長一段時間內提高吞吐量和產品產量。
還沒有評論