二手 NIKON i8 #293593221 待售

NIKON i8是一種光刻晶片步進器，設計用於半導體制造設施。該設備能夠執行各種不同的光刻操作，從文字線圖樣到雙圖樣和堆叠層。NIKON I 8配備了多種最新一代的半導體光刻元件，包括兩個高NA透鏡，具有極高的分辨率和均勻性。該系統還配備了種類繁多的步進級、精確定位機制、照明系統、計量儀器以及用於精確對準和陣列的蜂窩機器人。憑借其旋轉掃描場和先進的高分辨率成像能力，i8可以處理大型光刻工藝以及小作業。I 8提供了一系列性能增強功能,包括高精度對齊和晶圓掃描功能。它具有高度精確的定位階段,具有納米分辨率和可重復性,能夠精確覆蓋和放置口罩和模板。NIKON i8有一個高NA投影鏡頭，提供了精確打印尺寸為0.1µm或更大的特征的靈活性。這使得它能夠以極高的精確度制作圖樣，並以更大的細節打印超大規模集成（ULSI）半導體器件。投影透鏡結合了可編程的均勻場照明系統，允許用戶根據需要定義精確照明參數。此外,NIKON I 8還包括一個高級計量模塊,用於評估定位精度和層叠。這為用戶提供了對打印準確性的理解，並有助於模式驗證和校正過程。I8還能夠進行堆叠層處理和雙陣列處理。通過使用其自動對齊功能和高級機器人技術,設備可以處理復雜的作業（如3D設備結構）,並且還可以蝕刻部分抵抗模式,而不會影響任何底層。該設備還可以實現高吞吐量和低缺陷率,這是由其自動機器人處理過程和快速晶圓交換速度所實現的。最後,I 8的設計占用空間很小,可以輕松安裝在各種設置中。其堅固的結構還可確保即使是最具挑戰性的制造環境中的可靠性。結合其先進的特性，這使得NIKON i8成為滿足半導體光刻需求的卓越解決方案。