二手 NIKON i8 #293628330 待售

NIKON i8
製造商
NIKON
模型
i8
ID: 293628330
Stepper.
NIKON i8是一種晶圓步進器,設計用於制造大體積半導體生產的光掩模和IC。該機器能夠以極高的速度提供精確的分辨率。NIKON I 8配備了三級對準技術,以10nm或更低的精度實現晶片的高精度對準。它還提供了卓越的重復性、出色的位置精度和廣泛的成像選項。I8具有專用的寬域對準設備,可在不到15秒的時間內精確同時對準8個晶圓。該系統采用單色儀,配置了標本場的30微米圖像大小。它還使用視頻對齊進行低級調整。這可以實現高速、高精度的對齊,即使是大型基板尺寸也是如此。此外,I 8兼容高速掃描自動對焦單元。使用這臺機器,機器能夠在不到1.5秒的時間內將其像差校正後的光學器件聚焦在晶片上,精度高達0.5µm。這樣可以確保所產生的圖像具有高質量。NIKON i8還配備了先進的曝光技術,允許通過激光光刻精確成像,曝光時間為1/10秒/晶圓。該機還能快速發展,確保光刻工藝快速高效完成。總體而言,NIKON I 8是用於大容量半導體制造的可靠高效的工具。除了高速對準和聚焦技術外,它還提供精確的成像和出色的重復性。這確保了生產的效率、準確性和成本效益。
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