二手 NIKON i8 #293652750 待售
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NIKON i8是來自NIKON的晶圓步進器,是一種高精度、高通量的光刻設備,用於生產VLSI電路和MEMS器件。該系統基於6英寸運動穩定的光學平臺,並利用浸入式曝光鏡頭進行高級曝光能力。它采用高端成像單元,包括平行軌道運動直線級、廣域變焦和高速、快速聚焦驅動。其曝光能力範圍從1mJ/cm2到50mJ/cm2,分辨率為7nm,適合所有高級曝光應用要求。NIKON I 8能夠生產當今市場上一些最先進的晶圓步進設計。其先進的設計特點支持平行曝光,並獲得了良好的平版印刷位置精度。通過采用光學失真校正的組合,也可以提高分辨率和準確性。該機還采用高精度運動控制系統,可實現半微米分辨率和速度的快速、精確微步進。該工具還集成了許多軟件包,例如高精度縫合和最高保真分割,以確保卓越的分辨率、準確性和可重復性。此外,資產還集成了諸如Process Monitor之類的創新工具,Process Monitor是一種監視器,可根據預定義的參數自動調整曝光設置和處理晶片,以保持一致性。I8旨在滿足當今和未來光刻應用的需要。該型號非常適合先進的光電、半導體、醫用和MEMS設備生產需要。此外,該設備具有很高的可靠性和經濟效益,因此,當您需要可靠的光刻系統時,您可以信賴該設備。
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