二手 NIKON i8 #293797469 待售

NIKON i8晶片步進器是一種高性能的光刻設備，能夠處理小批量、實驗、原型和批量的大晶片。它專為半導體器件、顯示器制造、MEMS器件等廣泛的微工作應用而設計。NIKON I 8自動化性強,用戶友好,操作方便,性能可靠。I8利用8英寸遠心鏡頭的強大投影系統，為照明光學提供聚焦光束，確保卓越的成像質量。它還具有15毫米長的工作距離，非常適合球形傾斜的微結構。I 8提供了借助多個對齊標記的自動對齊,以及支持高達4倍速度的快速掃描模式。NIKON i8有一個靈活且可互換的面罩傳輸機制，使它可以同時使用大小面罩。掩碼傳輸可以配置一個額外的轉盤單元，允許多個晶圓曝光。此外,NIKON I 8的光學蒙版處理機還支持多種類型的蒙版。I8具有廣泛的曝光選項,從直接電子束曝光到多種模式CAD格式。它支持從16灰到400灰的抗暴露劑量，還包括在不犧牲產量的情況下加速加工速度的高通量模式。除此之外，I 8還有一個高精度的模式定位工具。高精度的配準資產確保了亞微米範圍內的位置精度。除了成像能力外，NIKON i8還擁有出色的工藝控制和數據采集選項。該機提供10級電機控制，具有嵌入式數據采集功能的實時圖像數據質量監控模型，以及提供質量和過程控制功能的嵌入式過程控制器（EXCEL）。總體而言,NIKON I 8晶片步進器是一種高度先進的設備,具有出色的成像功能、靈活的掩碼處理和高效的過程控制。利用i8,用戶不僅可以實現高速成像,還可以以出色的精度和控制來控制其過程。