二手 NIKON i8 #9068878 待售

NIKON i8是由NIKON Corporation開發的精密晶圓步進精密光刻成像設備。它是i-line系列步進器中的最新系統。它支持幾種技術和功能的集成,以便為高級工藝開發提供理想的工具。步進器具有全自動平臺,可提供連續的試用和改進學習。它采用了幾種先進的技術,例如NEXIV（一種專有的深亞微米對齊技術）,以確保高打印精度。NIKON專有的ACCUPHASE處理技術和多維噴嘴控制技術為出色的光刻性能做出了貢獻。單元中的STEM使用高分辨率空氣動力學驅動的反反射光學器件提供世界級的成像性能。該機采用先進的框架成像工具，能夠實現多場重叠曝光，以減少模式振蕩。高級1 x標線檢查功能確保樣品斑點與原始晶片上定義的模式一致。先進的光學資產還提供了高精度的二維配準模型（iTDR）以及一個高分辨率和低失真光學設備,用於光片外觀控制。此外,系統還配備了一系列功能強大的軟件工具,如預測模式測量工具、數據檢索工具和過程審核工具。「陣列測量工具」使用戶能夠捕獲批處理數據、查看叠加和漂移趨勢以及分析晶圓失真。數據檢索工具允許用戶從處理過程中創建的圖表中收集晶圓特征數據。流程審核工具使用戶能夠監控來自多個系統和流程的數據,以確保質量。強大的控制器和軟件使設備效率最大化,使設備運行速度比其他步進器快三倍。該機器還提供了用於晶圓打印的快速移動和放置的共對齊器。此外，該工具與用於計量應用的大多數激光電平以及用於廣泛應用的後端進程兼容。NIKON I 8是先進光刻應用的領先技術資產。它提供強大的硬件和強大的軟件工具,可提供卓越的映像性能和快速的周轉時間。該模型是經濟高效的光刻工藝的理想工具。