二手 NIKON i8 #9144952 待售
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NIKON i8晶圓步進器是一種全自動、高精度的光刻設備。這臺最先進的機器非常適合生產先進的半導體芯片和其他需要嚴格定義的微觀特征的設備。NIKON I 8旨在提供高速、低成本的光刻。它采用了創新的一件式碳纖維底座和輕量級真空卡盤。這樣可以確保振動最小化,晶圓平整度極佳,晶圓步進精度更高.系統可提供從0.8微米到0.1微米的分辨率,最大步進精度為3微米。這是由它的精細間距激光掃描鏡和高精度級運動啟用。I8有一個內置的10倍放大顯微鏡和四角照明內置到單元。這允許用戶對芯片特性進行高精度對準和監控,同時還提供了改善晶圓檢查的圖像流解決方案。步進器極具彈性,具有機動預對準器以方便晶片載荷,以及具有一系列照明選項的高適應性晶片步進器,例如UV和KrF。這為制造商提供了使機器適應其特定需求的自由。該工具具有直觀的操作資產,包括全面的自動化軟件。這控制著諸如曝光、舞臺移動、晶圓定向和晶圓處理等子系統。I 8晶片步進器是經濟高效的高精度光刻的完美解決方案。它兼具創新特性,精確度優越,操作方便用戶,是先進半導體和器件制造商的絕佳選擇。
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