二手 NIKON i8 #9155056 待售

NIKON i8是一種最先進的光刻步進器，用於從半導體制造到醫療設備制造等多種應用。它是一種高精度工具，利用投影光成像，根據計算機生成的設計在基板上精確地創建圖樣。NIKON I 8是第一臺商用光刻步進器，仍然是NIKON光刻工具的旗艦。I8由幾個組件組成。首先，它擁有依靠超高壓水銀燈作為光源的照明設備。該光源位於系統外部,部分目的是為了提高安全性和可靠性。中心光源鍍金，以提高反射率。縫隙大小和形狀也可以通過內部調整和改進的暗場響應進行調整。投影單元的孔徑為25mm，可以產生高達令人印象深刻的20mm平方的大曝光場。它還具有增強的垂直對齊（VA）分辨率,分辨率為0.51 mJ/cm2,或45納米半音高分辨率,因此在小型幾何設備中,密集線條和空間的特征尺寸為1.2 um,最低值為0.1um。配備了堅固的電機或執行器，它提供了更快的步進電機操作和更大的驅動周期靈活性，從而產生優於晶圓對準精度。投影機還包括一個原始的低角度掃描工具，用於在較大的區域上繪制大型圖樣，以提高表面覆蓋率。I 8還配備了多種軟件工具來優化光刻過程,包括分層驗證檢查器、故障檢測資產和自動曝光調整模型。此外,其創新的Dicing Output （DOC）設備允許用戶在一次曝光的情況下執行單晶片陣列。其強大的軟件非常直觀，允許用戶輕松修改曝光、修改照片技術以及存儲和檢索蒙版設計。NIKON i8光刻步進器提供了一個可靠的平臺，以令人難以置信的精度和分辨率高效創建復雜的模式。NIKON I 8具有獨特的功能、強大的軟件和性能,是業界首選的光刻步進器,適用於許多精密應用。