二手 NIKON i9 #139030 待售

NIKON i9
製造商
NIKON
模型
i9
ID: 139030
晶圓大小: 8"
Wafer steppers, 8" Stored in a clean room.
NIKON i9是一種高精度、頂級的光刻晶片步進器。用於將圖樣從光掩模傳輸到集成電路中的主要組件半導體晶圓。步進器在同步機構上工作,在模式傳輸中帶來高精度和重復性。NIKON I 9配備了最先進的沈浸式鏡頭和先進的照明光學器件。使用諸如流體或氣體之類的浸入介質可以實現高分辨率和卓越的成像性能。它有一個大的鏡頭數值光圈設備,允許高分辨率的打印和覆蓋精度,同時提供優秀的景深。集成計量學系統,基於激光幹涉測量,允許用戶在步進器上現場測量最終打印的圖樣,而無需從機器上取出晶圓。這樣可以快速輕松地檢測到過程中可能發生的晶片級缺陷。步進器提供樣品支撐,由基板級和掩模級兩個階段組成。基板和掩模級裝有用於檢測運動的光學傳感器,由復雜的線性電動機和精密編碼器網絡連接和控制,提供極其精確和可重復的運動。I9還具有自動確定晶片平面並使其保持聚焦的自動聚焦單元。這消除了手動調整的需要,並有助於提高生產吞吐量。I 9由一臺直觀且用戶友好的基於PC的控制機器運行,它包括許多功能,如微調參數、實時監控曝光後工具和錯誤檢測功能。通過眾多安全協議和測試程序,確保了高耐用性和長壽命性能。這確保了長期可靠和一致的性能。總體而言,NIKON i9是一款先進的尖端晶圓步進器,具有卓越的成像性能、實時監控功能、自動聚焦和集成計量功能。它是精密生產集成電路的寶貴工具,提供極高的準確性和可重復性。
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