二手 NIKON i9 #293797470 待售

NIKON i9是來自世界最大的光刻設備制造商的浸入式高端晶圓步進器。這臺業界領先的機器是先進工藝的理想平臺,為具有挑戰性的晶體管設計提供卓越的成像性能。NIKON I 9比其他步進器高一步，具有最新一代的TTL激光幹涉儀、積分減振和邊緣增強技術。I9有一個5X5-inch的工作區域，提供了廣泛的分辨率，是理想的背面光刻和圖案。其優越的分辨率和精確度結合最新的晶圓加工技術，包括浸入和浸入油，意味著它可以產生小於0.1微米的超細線寬。集成的減振功能使I 9成為當今市場上最可靠、最準確的工具之一。該設備設計具有一系列先進的可擴展性和過程控制能力。多種專用曝光模式（如自動邊緣增強和自動激光電源控制）可實現精細曝光控制。這樣可以確保模式能夠準確、快速地復制。該系統包括自動曝光源關閉功能，以保護光學器件免受塵埃顆粒和其他汙染物的影響。NIKON i9還具有智能布局單元,該單元經過優化以實現更好的陣列和曝光控制。曝光場可分為4至9個較小的部分，更容易控制各種形狀、大小和曝光配方。曝光現場優化工具最大限度地提高了吞吐量,最大限度地減少了手動優化的需求。NIKON I 9的軟件架構包括一個功能強大的圖像生成和曝光控制軟件，稱為Predictive Exposure Control（PEC）。PEC簡化晶圓處理，並提供所有工藝參數的內置監控，以提供質量控制反饋。一個靈活的維修機器允許快速和易於修理和維護的工具。I9是一種功能強大且可靠的晶圓步進器，旨在滿足先進半導體工藝的需要。其卓越的分辨率、精確度和可擴展性，結合最新的工藝控制工具，使其成為背面光刻和圖案設計的完美資產。