二手 NIKON KDP1640EHE #293668739 待售

NIKON KDP1640EHE晶片步進器是一種下一代設備，旨在為先進的半導體器件生產提供高分辨率成像和光刻性能。它配置了NIKON場發射槍掃描電子顯微鏡（FEG-SEM）和提供低失真、高速數字成像的直接曝光技術。KDP1640EHE具有五軸橋式運動級隔離系統,具有高速正交掃描功能,可確保可重復和穩定的放置精度以及步進和重復性能。它設計一次最多可容納四個6英寸的晶片，並且可以處理多達20毫米厚的晶片，最小條帶寬度為0.2 μ m。該單元還包括具有低失真安裝的標線組合器的高速標線交換能力，以提高配準精度和減少對準時間。該機的鏡頭控制工具具有高精度的四軸對準和高度精確的步進和重復能力，提供精湛的圖像處理和光刻性能。它具有自動化的圖像居中資產（自動將晶片居中以提供最佳曝光）,以及功能強大的掩碼模式編輯器,使操作員能夠快速創建復雜的曝光模式。NIKON KDP 1640 EHE的機動化標線級提供了高達+/-1 μ m的精確移位,以其機動化標線負載和卸載能力最大限度地提高吞吐量。模型的自動對齊功能確保無移位高速掃描曝光，使操作員能夠專註於其他任務。此外，它還配備了一個焦點監視器，以監測每個步進射擊的焦點範圍。除了提供高端晶圓步進器所期望的精度和精確度外,KDP1640EHE還提供直觀的圖形用戶界面（GUI）和易於使用的數據控制功能。可以通過GUI訪問成像條件、可編程鏡頭控制設置和圖樣編輯功能等功能,並且包含的自檢和設置功能可提供有關設備性能和功能的詳細信息。控制控制臺還允許使用8英寸觸摸屏界面和大格式、符合人體工程學的鍵盤快速啟動過程。總體而言，NIKON KDP1640EHE是一個極其可靠和用戶友好的系統，為操作員提供精密的半導體器件生產所需的準確性和速度。它的自動化對齊、全面的圖像編輯和改進的焦點監控工具使其成為大型設備制造和研究應用的理想單元。