二手 NIKON NES1 H04 #9225317 待售
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ID: 9225317
晶圓大小: 6"
優質的: 2010
Mini steppers, 6"
Resolution: 2 μ L/S, K=0.8
Wave frequency: H line (405 nm)
N.A: 0.16
Exposure range: 15.00 mm x 15.00 mm ~ 11.23 mm x 18 mm
Alignment accuracy: |M| 3σ ≦ 0.3 μm
Reticle size: 5” x 5”, t=0.09" Quartz glass
Throughput: 6” Wafer (61) shots, 60w/h
2010 vintage.
NIKON NES1 H04是為半導體制造中具有挑戰性的光刻工藝而設計的高精度晶圓步進器。它提供精細的成像,分辨率為325 nm/step。直觀的設計很容易適應各種層壓和曝光應用。晶片步進器具有精確可靠的掃描系統,能夠精確對準掩模和晶片,確保準確和可重復的水平和垂直坐標。它配備了支持扇形束縫合的大幅面定向臺,以提供更高的模式對準精度,以及更大晶圓的全掃描模式。NIKON NES1-H04提供了許多使光刻應用更容易和更高效的功能。它包括NIKON專有的語音圖像處理技術(VIPT),它允許用戶根據模式和材料快速調整曝光參數。它還包括世界領先的多EXEL自動化,以支持高DUT接受度。晶圓步進器還具有直觀的觸摸屏用戶界面,可直接訪問機器的所有功能和設置。這包括用於可視化工作進度的攝像頭視圖以及預設曝光設置。所有這些設計功能結合在一起,為一系列光刻應用提供卓越的性能。可靠的掃描系統可確保精確的模式對齊,而直觀的GUI則可快速輕松地進行調整。對於在光刻過程中需要最高級別的細節和準確性的用戶,NES1 H04是理想的解決方案。
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