二手 NIKON NES1 H04 #9356064 待售

NIKON NES1 H04是晶圓步進器，一種用於創建用於打印集成電路的光掩模的精確工具。該設備為用戶提供了一個極高分辨率的曝光系統，該系統由高度精確的數控模式步進器組成，可確保精確和可重復地曝光光掩模。NIKON NES1-H04利用強大的8.4微米微聚焦光學器件，提供0.5微米的全分辨率，精度為+/-1.5um，可重復性為+/-3um。此外,它還具有創新的子場級步進器,其精度為0.2微米。其0.5秒的步進重複時間，使得在大多數大批量列印環境下都能夠快速不間斷的運作，而整合的重複性錯誤補償（REC）技術更進一步提升了光刻的任務。晶片步進器還擁有一個高度靈敏的電荷耦合器件（CCD）攝像機，用於監測樣品完整性和位置精度。這臺CCD相機非常靈敏，采用了12.3百萬像素分辨率的CCD，幀速率為每秒10幀，以便在制作光掩模時對樣品進行詳細分析。此外，該單元還采用了特殊的專有腔室設計，確保了均勻的密封壓力，同時允許調整氣流以適應具體情況。這使用戶能夠方便地為各種應用（如部分曝光）定制機器。伴隨這些特點的是一系列用於精確對準和對焦的自動化操作，包括物鏡自動對焦、自動歸零和自動標線定心。這些智能功能可幫助用戶以最小的努力精確定位晶片以實現最佳曝光。總而言之,NES1 H04提供了實現卓越光刻效果的高級功能,顯著減少了光掩模的制造時間和成本,並為用戶提供了最高級別的性能和可靠性。