二手 NIKON NES1 H4 #9239624 待售

NIKON NES1 H4是用於生產半導體晶圓基板的半自動高精度步進器。H4晶片步進器在10 μ m時具有較高的收率和更高的精度.它配備了多種特性，在半導體行業使用超過15年。NES1 H4是一個單場步進器，場大小為56.4 x 56.4mm，最大級大小為25.4 x 25.4mm。步進器裝有多模式旋轉級（MPRS），可360度精確對準。H4晶片步進器在500毫米範圍內的最大分辨率為0.1 μ m。步進器配備了由放置顯微鏡、激光位移傳感器和對準改進處理器組成的對準/曝光設備。它還具有高精度投影儀鏡頭、采樣對準、光束偏振控制等功能。NIKON NES1 H4具有支持使用深紫外線（DUV）和極紫外線（EUV）光刻技術的波長範圍。步進器與i-line和KrF激光器都兼容，並且被設計成可以使用多達四個不同的激光源。步進器還配備了軟硬件工具，以減少光學失真、場均勻性和打印質量。晶片步進器能夠處理多種晶片基板，如單面和雙面光掩模、表面安裝裝置和無間隙金屬絕緣體金屬（MIM）裝置。它還能夠高精度地制作各種基板的圖樣。此外,NES1 H4還具有多種功能增強模式,使其能夠產生剛性的亞微米結構,並最大程度地減少壁角變化,以及卓越的叠加精度、均勻的聚焦和更高的吞吐量。在安全措施方面，NIKON NES1 H4的設計符合國際標準組織（ISO）的安全標準。步進器的聯鎖系統可防止意外激光照射，其防塵功能可降低汙染風險。步進器上的保護塗層可防止電離輻射的損壞，而該單元的EEPROM設計是為了防止電磁幹擾。總體而言,NES1 H4晶片步進器是一種先進的技術,可提供卓越的精度、高產量和可靠性。這臺機器能夠精確地設計各種基板，並具有各種安全特性，以便更安全地進行生產操作。