二手 NIKON NES1 H4 #9239625 待售

NIKON NES1 H4是一種用於制造半導體器件的高性能晶圓步進器。它是一種兩級、龍門式、全場光學光刻設備，包括接近面罩對準器、頂面對準系統和浸入式投影透鏡。專為有效利用曝光時間而設計,支持高放大倍率、高分辨率和高通量,使其適用於各種制造過程。NES1 H4采用多種功能來確保半導體材料的最佳晶片級應用,包括高精度的三軸龍門,它為設備提供快速移動和高精度的對準精度。頂部表面對齊機有助於確保每一層材料在基板上的精確放置,從而確保均勻的層分布。此外,該工具的高分辨率光學器件可確保以比其它晶片步進系統更高的速率準確、精確地創建極小的特征。NIKON NES1 H4的另一個特點是它的全場浸沒投影透鏡，允許從掩模到晶圓表面的光滑光路。由於該資產設計用於處理多曝光和多層光刻,因此全場浸入式投影鏡頭允許用戶以比通常可實現的速度更快的速度以高分辨率精確地應用材料。NES1 H4與各種高分辨率支撐表面兼容，包括環氧樹脂、石英、低k電介質和保護性光致抗蝕劑。它可以提供高達28毫米x 28毫米的場大小，相關的焦點深度為6至30 μ m，其激光幹涉測量感測可以提供高達0.1微米的精度。除了確保每一層的精度外,該模型的步進頭還設計用於快速操作和特征無振動設計。總體而言,NIKON NES1 H4是一款用途廣泛、功能強大的多層光刻設備,可在各種半導體應用中提供高精度、高通量和精密放置材料。其先進的特點和廣泛的兼容材料使其適合各種應用。