二手 NIKON NSR 1505 G4 #121003 待售

NIKON NSR 1505 G4是一個開創性的步進器，引入了許多既全面又高度復雜的特性。這是一個將各種光學和光刻技術以及微電子和力學/熱技術結合成一個系統的裝置。它旨在提供最先進的精確度、精確度和光刻過程中的功能。它是NIKON步進器系列的最新產品,擁有無與倫比的圖樣質量和註冊精度。該系統能夠處理要求最苛刻的應用程序的要求。NSR 1505 G4非常適合應對先進技術節點的挑戰,例如光掩模生產,因為高吞吐量和過程靈活性至關重要。NIKON NSR 1505 G4的一項重大創新是合並了一個創新的遠程中心光學索引照明,即OIX技術。這一過程能夠提供極小尺寸的高精度、高度均勻的矩形均勻投影圖像。此功能提供卓越的成像性能和圖像對比度,以提高吞吐量和分辨率。除了OIX Technology之外,NSR 1505 G4還進一步配備了廣泛的其他高端功能,旨在提供卓越的陣列質量和可重復性。例如,它的雙焦距雙波長特性使它能夠提供更好的分辨率和圖樣精度,而可變放大倍率允許它容納廣泛的圖樣特征,並實現高精度的步長和重復操作。NIKON NSR 1505 G4還融入了所謂的無色圖像傳輸技術，在減少光刻偽影的同時提高了圖樣的精度。此外，該裝置還具有可調基板溫度控制器，可以為基板的每一層分別設置，從而提高光刻工藝的性能和可靠性。此功能通常適用於涉及大型基板的應用。NSR 1505 G4是高分辨率光刻生產的強大而全面的工具。它提供了多種高級功能,可實現具有可重復性和高吞吐量性能的精確陣列。該系統非常適合要求最苛刻的先進技術節點的需求。