二手 NIKON NSR 1505 G4 #293602063 待售
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NIKON NSR 1505 G4是為高端半導體工藝光刻而設計的高性能晶圓步進器。它有效地結合了針對超高數值孔徑(NA)要求優化的光學設備和先進的顯微鏡和成像系統。該單元在其大的景深下動態優化曝光,並提供優越的工藝光刻效果。NSR 1505 G4具有大的135毫米(mm)場大小,掃描儀放大倍數可達4500倍。它提供0.7 µm的最小分辨率和0.2 µm的最大線寬,允許開發高分辨率光學器件和快速曝光時間。憑借其高精度的成像能力,它甚至可以精確地再現最復雜的圖案。這種晶片步進器還具有高度先進的曝光控制機器,它實際上消除了每個曝光場的缺陷。此控制工具可自動補償每個曝光字段內的漂移和焦點偏移等錯誤。它還允許更高的曝光吞吐量和非常短的曝光周期時間。NIKON NSR 1505 G4匯集了性能卓越、易於使用的資產。它具有復雜的直觀和用戶友好的基於軟件的模型控制功能,允許用戶在同一設備上輕松編程、存儲和召回作業。這使得曝光設置具有高度的靈活性,允許系統用於許多不同的曝光作業。NSR 1505 G4提供多種支持和服務選項,便於維修或更換部件。它還提供了廣泛的定制,允許用戶滿足其光刻工藝的具體需求。NIKON NSR 1505 G4單元是半導體工藝光刻行業的巨大進步,為高端芯片的生產提供了前所未有的性能、靈活性和質量水平。NSR 1505 G4晶片步進器具有大的景深、高分辨率、快速的曝光時間和易於使用的軟件控制等特點,非常適合半導體行業的最大參與者。
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