二手 NIKON NSR 1505 G4C #293607260 待售

NIKON NSR 1505 G4C Wafer Stepper是一種極其精確可靠的機器,用於在各種基板上創建微芯片。該機器專為在3D結構中創建低至0.5 µm的特征尺寸而設計,能夠以1200晶圓/小時的最大速度以0.7 µm的最小特征尺寸曝光200 mm晶圓。NIKON NSR 1505 G4C機器堅固的設計融合了高速晶片級設計，支持大小在200-450mm之間的大小大小晶片。它還配備了三個曝光室和一個晶圓處理系統，旨在確保在整個曝光過程中的高精度和可重復性。此外，該裝置基於可靠的曝光過程，使用波長為308nm的深紫外線（DUV）激光器制造芯片。此組合可用於廣泛的應用,如光刻曝光、打印和塗層、直接書寫、接觸曝光和圖案傳輸過程。為確保精確準確曝光，該機配備了高分辨率自動對準光學、智能模式對準、數字邊緣檢測等功能。該設備還支持各種階段叠加對齊方法，旨在確保芯片設計和曝光模式之間的最佳匹配。而且，步進器能夠提供出色的重復性和準確性。該設備經過精心設計,可持續進行數千次曝光,其對準精度可達到4nm。這種精度水平考慮到熱漂移、振動和空氣湍流引起的任何誤差。除了晶片步進器本身之外,NSR 1505 G4C晶片步進器還提供了一整套編程和校準工具。這包括由NIKON提供的G4C控制中心,幫助用戶優化曝光過程、管理曝光以及對高質量芯片生產進行任何必要的更正。為了滿足半導體制造領域廣泛應用的不同需求，NSR 1505 G4C晶圓步進器可以與NIKON提供的許多其他增值服務和產品一起使用。其中包括曝光室、清潔系統以及各種旨在將晶片最佳地轉移到曝光區的物品籃。NIKON NSR 1505 G4C Wafer Stepper是一種非常精確可靠的芯片生產工具,它結合了堅固的力學和尖端的設計。它提供了精確度、速度和靈活性的無與倫比的組合，適用於適用於半導體制造行業的各種應用。