二手 NIKON NSR 1505 G4C #293630450 待售

ID: 293630450
晶圓大小: 6"
Wafer stepper, 6".
NIKON NSR 1505 G4C是為半導體工業中最先進的光刻應用而設計的最先進的光學光刻步進器。它具有卓越的映像功能、高生產力和低擁有成本。NIKON NSR 1505 G4C專為生產高密度器件而設計。它具有6.4英寸x 6.4英寸的寬廣曝光場和優越的成像邊緣清晰度。它可以在5納米分辨率下精確、重現地曝光。具有0.25微米至0.50微米成像能力。NSR 1505 G4C增強了抗蝕劑對晶片的附著力,從而提高了吞吐量,並在幹式和濕式蝕刻方面取得了更好的效果。它的G射線照相機系統保持一致和準確的曝光。NSR 1505 G4C利用納米定位級來移動和對齊晶圓。它能夠制作尺寸小於1 µm的圖案,掃描範圍為800 mm,提供無與倫比的精度和精確度。集成曝光激光器可實現極快的曝光時間。NIKON NSR 1505 G4C設計用於對準精度小於2 nm的多陣列操作。它配備了自動標線加載、自動切口和鎖定曝光等最新技術。它有能力在一個過程中處理多達四個標線。NIKON NSR 1505 G4C可以與幹式和濕式加工設備同時集成,制成全自動光刻機床。它是一種低成本、高性能和用戶友好的光刻系統。對於自動化和手動模式下的多模式操作,它也是一個經濟高效的解決方案。NSR 1505 G4C可靠、緊湊,專為達到最佳生產效率、吞吐量和質量而設計。對於鑄造、邏輯和內存設備等要求最苛刻的應用,它是高級晶圓處理的理想選擇。
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