二手 NIKON NSR 1505 G4C #9222897 待售

NIKON NSR 1505 G4C是晶圓步進器,非常適合執行各種光刻任務。它是一種高度可靠的全場光學步進設備，能夠處理高達150毫米的晶圓。其光學系統是專門為提供卓越的圖像質量和場平面度而設計的。它有一個先進的快門單元，能夠廣泛的曝光和劑量控制，而它的X-Y階段，使快速，精確的對準。NIKON NSR 1505 G4C配備了NIKON專有的多束對準機（MBAS），使對準精度極佳，對準時間顯著縮短。步進器有先進的照明工具，提供高精度和均勻的曝光。其靈活、完全可編程的AutoFocus資產還通過其自動、實時對焦調節功能,確保了鏡頭傾斜的準確性,並糾正了表面輪廓的變化。NSR 1505 G4C還具有高精度、高分辨率的X-Y級,可確保基板處理和定位的精度和準確性。此外,步進器的最先進的直接驅動電動機可實現快速、精確的對準。步進器配備了廣泛的成像選項，包括航拍影像、輪廓影像、縮放影像，以及對比度可調的影像。它還通過其獨特的光學探針傳感器提供板載晶圓識別功能,使步進器能夠識別所使用的基板類型。步進器有一個集成的視覺模型，可用於獲取、測量和處理曝光期間的圖像。這種設備允許自動執行許多功能，例如檢查和檢查基板。NSR 1505 G4C具有全面的晶圓跟蹤控制能力。能夠監控晶圓溫度、腔室壓力、工藝氣流等項目。此外,步進器的高級自動化系統允許自動加載和卸載晶片。最後，NIKON NSR 1505 G4C配備了一個完全集成的缺陷檢查單元，可以讓用戶快速準確地檢查晶片表面的缺陷。這臺機器能夠識別出可能幹擾晶圓制造的汙染物和表面缺陷。