二手 NIKON NSR 1505 G4C #9296337 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
NIKON NSR 1505 G4C是一種先進的晶圓步進器，用於制造半導體和其他微設備。該設備由掃描儀、柱和可伸縮光學系統組成，在光刻過程中實現高精度和高速度。它能夠移動大視野，支撐直徑可達150毫米的基板，最大視野尺寸為330毫米。G4C單元采用先進的無窮大機器設計，允許放大倍數在1.5X到25X之間進行調整，同時具有高速525 mm/秒的掃描速度。它配備了一些最優秀的功能，包括直接對準工具、模模針跡和可變形狀的光束掃描，實現超精細分辨率。NIKON NSR 1505 G4C資產能夠在一次掃描中處理多個曝光應用，從而實現更高的吞吐量和更高的精度水平。這是通過可變形狀光束掃描（VSB）模型啟用的,該模型提供精確的控制,以實現打印圖樣上的尺寸播放或增加線緣粗糙度（LER）。作為市場上速度最快的系統之一,G4C步進器提供28nm的高分辨率和10nm的線寬。它還配備了全同步快門（FSS）設備，減少曝光時間，防止在微觀模式上的汙名化，並提供高精度的叠加對準。此外,NSR 1505 G4C系統設計為易於使用,並配有對人體工程學友好的控制面板。還包括一個集成的叠加控制單元，允許用戶輕松進行調整和校準。包括視覺跟蹤機（VTS）和各種智能軟件解決方案，以提高生產能力和生產可見性，允許實時監控和預防性維護。總之，NSR 1505 G4C是一種用途廣泛、可靠的晶圓步進器，旨在為微設備的制造提供卓越的性能和效果。
還沒有評論