二手 NIKON NSR 1505 G4D #293607252 待售

ID: 293607252
Wafer stepper.
NIKON NSR 1505 G4D是一種精密、高性能的光刻掃描儀,用於批量生產直徑約150毫米的基板。作為先進的晶片步進器,它具有先進、快速、高效的陣列,可制造高質量的產品,提供卓越的吞吐量和成本效益。1505 G4D設計具有基本的設計特點和強大的照明技術,以方便生產最先進的半導體器件。它的曝光緯度降低了5倍,使其能夠產生更精細的分辨率和更清晰的圖像,而其專有的高級光學芯片提供了更好的圖像質量和更好的聚焦放大倍率。這也得益於其NIKON建造的Aircut機制,該機制減少了光刻蓋中氣流造成的模式轉移的差異。NIKON NSR 1505 G4D的核心是其高功率、850nm、連續波紅外激光源,由於其可預測的曝光功率和輸出光束的絕對均勻性,因此能夠實現卓越的吞吐量和高光電壓。這樣可以確保即使在制造最先進的半導體元件時,蝕刻的圖樣也會有最小的缺陷。1505 G4D的先進光學也使得它在可編程性和後處理能力方面具有很高的靈活性和效率。它具有現場可編程邏輯陣列(FPLA),可以快速編程針對特定基板和晶圓尺寸量身定制的曝光配方,以及可用於精確對準、旋轉和放大的復雜計算的超高分辨率可編程電動光學器件。它還與各種步進器兼容,以確保可用於各種工藝和材料。此外,NSR 1505 G4D還提供了一系列安全功能,包括主動對準系統,可防止熱站點損壞。它與先進的熱管理系統和風扇速度控制配合使用,以確保在制造過程中對設備的熱損害最小。最重要的是,NSR 1505 G 4D獲得了多種行業標準安全協議的認證,如ISO 10218-2和NFPA79,因此您可以確信它符合最高安全標準。總而言之,NIKON NSR 1505 G4D是一種用途廣泛、功能強大的晶圓步進器,用於精密光刻工藝。它可以用於要求和復雜性各異的廣泛基板,其先進的技術確保了高圖像質量、最小缺陷和更好的成本效率。其安全特性和與行業標準的兼容性使其成為制造半導體元件的高度可靠的工具。
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