二手 NIKON NSR 1505 G4D #293607253 待售
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NIKON NSR 1505 G4D是一種5英寸晶圓步進器,用於多種微加工應用。它旨在提供高數據吞吐量和準確的對齊能力,同時實現最高級別的性能和效率。這種最先進的技術極大地改變了生產半導體制造的面貌。NIKON NSR 1505 G4D設計用於各種晶圓大小和特征大小,同時處理多達15個晶圓。它能夠處理多種過程選項,包括全膜投影、多次曝光、分層對齊以及各種類型的對齊。NSR 1505 G4D配備了高精度的旋轉級,允許快速、精確的對準和最大的靈活性。NSR 1505 G4D擁有多種集成的數字成像系統,以合理的成本提供高分辨率和低噪聲特性。其吞吐量速度極快,在關鍵的對準步驟中可分辨率超過10微米。它還具有鏡頭錯誤檢測功能,可以提醒用戶任何不符合設計對齊要求的潛在鏡頭。NIKON NSR 1505 G4D的車載控制系統有助於調整圖像比例、圖像中心和Z級。其強大的數據管理軟件提供了增值功能,如對齊矩陣庫、內置診斷和遠程監控。NIKON NSR 1505 G4D先進的自動化能力使其成為晶圓生產過程的理想選擇。它配備了逐行自動搜索算法、自動圖像優化、自動基板交換、自動狹縫控制等功能。此外,它的交互式編程設備加上簡單的圖形用戶界面為用戶提供了一個易於操作的系統。NSR 1505 G4D非常可靠,具有內置的振動檢測單元,可防止刀具損壞。它還提供了許多安全功能,包括但不限於防火墻、冗余電源和有效的安全聯鎖安全系統。最後,該機器設計為具有競爭力的成本和較低的維護要求,使其成為半導體制造過程的理想解決方案。
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