二手 NIKON NSR 1505 G4D #293616233 待售

NIKON NSR 1505 G4D
ID: 293616233
Wafer steppers.
NIKON NSR 1505 G4D是一種綜合性的多功能晶圓步進器,旨在滿足廣泛的生產要求。該機器的創建是為了在半導體器件的生產中提供先進的光刻能力和高水平的性能、效率和可靠性。NIKON NSR 1505 G 4D具有雙軸級,由超精確的X、Y、θ電機設備驅動。該系統允許以1,000 nm的最高速度進行超精細對齊和單軸移動。位置對齊精度為0.1 μ m。該機配備了使用單一氙氣光源的先進3室浸入式裝置。它能夠保持高水平的吞吐量和光強度,以生產完整的芯片。這臺機器提供0.14 μ m的最大分辨率和0.93的NA(數值孔徑),允許精細成像和高品質的晶片。NSR 1505 G4D還配備了全自動、高精度的模片對準工具。這樣可以快速糾正位置錯誤,同時保持準確性和吞吐量。安全是NSR 1505 G4D的優先事項。它包括一個開門互鎖(OGI)傳感器,在發生任何異常或緊急情況時檢測和停止資產。自動測量模型(AMS)監視機器的使用模式,確保立即發現和報告任何潛在的故障或故障。此外,NIKON NSR 1505 G4D具有多種高級軟件功能,旨在最大限度地提高質量並簡化維護。機器配備了過程控制、校準、批次跟蹤、模式質量控制等工具。總體而言,NIKON NSR 1505 G 4D是一款先進高效的晶片步進器,專為高精度芯片生產而設計。它結合了強大的硬件和先進的軟件,使它具有很大的靈活性和多功能性。是生產高科技電子電路和元件的理想機器。
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