二手 NIKON NSR 1505 G4D #293818883 待售
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NIKON NSR 1505 G4D Wafer Stepper是一種高性能設備,能夠對下一代晶片進行復雜的光刻操作。它提供了廣泛的功能,旨在為大規模批量生產的設備提供快速、準確的光刻技術。步進器使用兩組鏡頭鏡頭-一組用於照亮目標圖樣,另一組用於檢測結果圖樣,使其能夠在不同類型的晶片上精確再現圖樣和特征。NIKON NSR 1505 G4D采用NSR-C80i面罩對準器和NSR-I140116成像控制板.掩碼對齊器提供了許多對齊和定位選項,可快速設置整個步進器。成像控制板用於控制光刻操作,精度高,靈活性高。該板有助於高效管理三維(3D)光刻操作,並確保與目標晶片上的圖樣精確對齊。NSR 1505 G4D Wafer Stepper設計用於DUV和i-line工具。其曝光面積直徑5英寸,深度10微米。該裝置支持最多± 30微米的光照,最大聚焦深度為13.5微米。步進器精度高,掃描速率高達每小時1,500晶圓。該系統能夠在6分鐘內對1500個晶圓進行插值和集成。步進器配備了最先進的NSR-G200圖像處理控制器,負責提供光刻操作的高效控制。它還提供了線寬檢測、模式分析、區域補償和糾錯等幾個附加功能。NSR 1505 G4D晶片步進器非常適合用於組裝高性能半導體芯片、納米設備和其他精密電子產品。它為所有類型的光刻提供了高效可靠的解決方案,並提供了高生產率和低運營成本。該設備具有卓越的光刻能力,可作為晶片制造商和工程師的絕佳選擇。
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